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PlasCalc等離子體監測控制儀
  • 名稱:PlasCalc等離子體監測控制儀
  • 型號:PlasCalc-UV-VIS/NIR
  • 品牌:Ocean Optics
  • 描述:PlasCalc等離子體監測控制儀,實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量,通過過程控制系統及精密數據存取算法...
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      PlasCalc等離子體監測控制儀,實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量,通過過程控制系統及精密數據存取算法,只需3s就可以獲得測量結果。



Recipe編輯器

      Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等,能夠快速簡單的構建模塊過程控制。

多種工具用于等離子體診斷

      隨PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能。可選的波長發生器(可以單獨購買)用于類型確認,而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。


技術參數

光譜范圍

200-1100 nm

光學分辨率

1.0 nm (FWHM)

D/A 轉換

14 bit

數字I/O

8 x TTL

模擬輸出

4 x [0-10V]

接口

USB 1.1

功耗

12 VDC @ 1.25 A

電源

90-240 VAC 50/60 Hz

尺寸

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量

5 kg

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