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NanoCalc薄膜反射光譜儀系統
  • 名稱:NanoCalc薄膜反射光譜儀系統
  • 型號:NanoCalc
  • 品牌:Ocean Optics
  • 描述:薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量,對單層...
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NanoCalc 薄膜反射測量系統

      薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。

     常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。


技術參數

入射角

90°

層數

3層以下

需要進行參考值測量

透明材料

傳輸模式

粗糙材料

測量速度

100ms - 1s

在線監測

可以

公差(高度)

參考值測量或準直(74-UV)

公差(角度)

參考值測量

微黑子選項

配顯微鏡

顯示選項

配顯微鏡

定位選項

6"和12" XYZ 定位臺

真空

可以

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